SEM мен TEM арасындағы негізгі айырмашылық мынада: SEM шағылған электрондарды анықтау арқылы кескін жасайды, ал TEM жіберілген электрондарды анықтау арқылы кескін жасайды.
SEM және TEM – электронды микроскопияда электрондар шоғы арқылы кішкентай нысанның суретін алу үшін қолданатын аналитикалық құралдар.
SEM дегеніміз не?
SEM сканерлеуші электронды микроскопты білдіреді. Ол үлгінің бетін сканерлеу арқылы үлгілердің кескіндерін жасайды. Ол үлгіге бағытталған электрондар шоғын пайдаланады. Бұл электрондар үлгі бетіндегі атомдармен әрекеттесіп, беттің топографиясын білдіру үшін әртүрлі сигналдар шығарады. Детектор кескін жасау үшін осы сигналдарды анықтайды. Мұнда қолданатын детектор - Эверхарт-Торнли детекторы.
01-сурет: SEM үлгі палатасы
Бұл техника арқылы берілген кескін үш өлшемді және ол максимум 2 миллион үлкейтуге дейін жетуі мүмкін. Оның үстіне ажыратымдылық шамамен 0,4 нанометр.
TEM дегеніміз не?
TEM трансмиссиялық электронды микроскопты білдіреді. Бұл микроскоп үлгі арқылы электрондар сәулесін өткізеді. Осылайша, бұл үлгінің ішкі құрылымының бейнесін жасайды. Сонымен қатар, бұл сурет үлгідегі электрондар мен атомдар арасындағы өзара әрекеттесу есебінен жасалады. Сонымен қатар, біз кескінді флуоресцентті экранда немесе фотопленкадан ала аламыз.
2-сурет: TEM-тен алынған кескін
Ажыратымдылықты қарастырған кезде бұл құрал шамамен 0,5 ангстром ажыратымдылығын бере алады. Сонымен қатар, ол үлгіні түпнұсқаға қарағанда шамамен 50 миллион есе үлкейте алады. Дегенмен, TEM берген кескін екі өлшемді.
SEM және TEM арасындағы айырмашылық неде?
SEM сканерлеуші электрондық микроскопты білдіреді, ал TEM трансмиссиялық электрондық микроскопты білдіреді. SEM мен TEM арасындағы негізгі айырмашылық мынада: SEM шағылысқан электрондарды анықтау арқылы кескін жасайды, ал TEM жіберілген электрондарды анықтау арқылы кескін жасайды. SEM үлгінің бетін талдайды, ал TEM ішкі құрылымды талдайды. SEM және TEM арасындағы тағы бір айырмашылық олардың ажыратымдылығы болып табылады SEM техникасының ажыратымдылығы шамамен 0,4 нанометр, ал TEM шамамен 0,5 ангстром береді.
Қорытынды – SEM және TEM
SEM сканерлеуші электрондық микроскопты білдіреді, ал TEM трансмиссиялық электрондық микроскопты білдіреді. SEM мен TEM арасындағы негізгі айырмашылық мынада: SEM шағылған электрондарды анықтау арқылы кескін жасайды, ал TEM жіберілген электрондарды анықтау арқылы кескін жасайды.
